直徑：(150 ± 0.25) mm
厚度：10~20mm
導電類型：n-type
晶面取向：(0001) 向 [11-2 0]偏4度
產(chǎn)品類型：晶錠
6英寸導電型碳化硅晶錠
產(chǎn)品規(guī)格
| 產(chǎn)品分級 | P級(Product grade) | D級(Dummy grade) |
| 直徑 | (150.2 ± 0.2) mm | |
| 厚度 | ≥10mm | |
| 導電類型 | n-type | |
| 摻雜元素 | Nitrogen | |
| 電阻率范圍（Ω·cm） | 0.015 – 0.028 | 0.015 – 0.028(75% area) |
| 微管密度 | ≤0.2 cm-2 | ≤2 cm-2 |
| 表面取向 | 4° toward [11-20] ± 0.5° | |
| 主參考邊取向 | // [11-20] ± 5.0° | |
| 主參考邊長度 | 47.5 mm ± 2.0 mm | |
| 包裝 | 單錠包裝，真空包裝 | |
| 邊緣裂紋（強光燈觀察） | 0 | |
| 六方空洞（強光燈觀察） | size < 1mm, Cumulative area < 1% | 0 |
| 多型區(qū)（強光燈觀察） | 0 | Cumulative area ≤ 5% |
| 碳包裹物（強光燈觀察） | Cumulative area≤0.05% | Cumulative area≤5% |
| 崩邊/缺口（日光燈觀察） | ≤3ea ,≤1mm width and depth | ≤5ea ,≤2mm width and depth |